Epurateur Acétylène haute pureté Pure-aC  [ Retour vers  Electronique & Optoélectronique  ]

Pure-aC^TM est la solution Air Liquide pour la purification de l’acétylène notamment pour des applications en microélectronique et plus particulièrement pour le dépôt de carbone amorphe par PECVD mis en œuvre dans les nouveaux procédés APFx d’Applied Material.

De part sa nature instable, l’acétylène est souvent conditionné dissous dans un solvant (acétone, DMF). Ceci permet à la fois de disposer d’un produit ‘’stabilisé’’ et disponible en grande quantité. Cependant, lorsque l’acétylène est dispensé, une plus ou moins grande partie du solvant est entrainé dans la phase gazeuse ce qui peut avoir des conséquences dramatiques pour certains procédés de fabrication dans l’industrie des semi-conducteurs. Il convient donc de l’épurer au préalable

Pure-aC^TM est essentiellement composé de deux cartouches de purification spécifiques, un système de régénération et un ensemble de contrôle électrique.

Pure-aC^TM fonctionne de manière complètement automatique assurant le passage d’une cartouche de purification à l’autre selon 3 modes de fonctionnement :

• Purification : l’acétylène contenant le solvant passe au travers d’une cartouche de purification à température ambiante où le solvant est piégé
• Régénération : Le phénomène d’adsorption étant cumulatif et réversible, lorsque la cartouche est saturée, elle peut être entièrement régénérée par chauffage à 100°C. La régénération se déroule automatiquement à intervalle fixe
• Stand-by : Entre la fin d’une phase de régénération et d’une phase de purification, le système se trouve en stand-by, prêt à purifier.