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Face aux besoins de pureté extrême de l’industrie des semi-conducteurs, Air Liquide offre une gamme d’épurateurs cryogéniques (ULTRAL) ou catalytiques (JPC) pour tous les gaz vecteurs (N2, H2, O2, He, Ar) jusqu’à des teneurs inférieures au ppb !

Pour garantir l’ultra haute pureté des gaz au point d’utilisation et prévenir ainsi de toute dérive pouvant avoir des conséquences dramatiques, Air Liquide propose des systèmes d’analyse en ligne sur mesure (CQC) ou standard (APIX).

Afin de détruire les gaz toxiques ou spéciaux résiduels lors des changements de bouteilles dans les gaz cabinet , Air Liquide propose une gamme de cartouche d’abattement solide (DETOXAL) assurant une destruction irréversible jusqu’à des teneurs inférieures à la VME (Valeur Moyenne d’Exposition).