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Elimination des gaz au point de purge PURGE DETOXAL  [ Retour vers  Electronique & Optoélectronique  ]

Elimination directe et irréversible des gaz au point de purge dans des systèmes de distribution gaz.

Ces cartouches pour abattement de gaz toxiques, corrosifs et/ou inflammables sont utilisés notamment dans l’industrie électronique. Fonctionnant sur le principe de l’adsorption chimique irréversible, elles sont disponibles pour une grande variété de gaz en standard 2L ou 10L.

Avant l’installation d’une nouvelle bouteille de gaz dans un système de distribution de gaz, une quantité significative de gaz actif est toujours présente dans les lignes et doit donc être préalablement éliminée. Le gaz résiduel est souvent concentré, toxique, pyrophorique et/ou corrosif et constitue une source potentielle de danger. De plus, la distribution de ces gaz est souvent garantie pour des niveaux d’impuretés proches du ppb. Il en résulte des procédures très strictes pour leur distribution au sein du process client qui valent également pour les procédures de purge.

Afin de répondre à ces exigences, Air Liquide a développé la cartouche PURGE DETOXALTM . Celle-ci est spécialement conçue pour une installation à l’intérieure des armoires à gaz pour les purges de gaz spéciaux avant et après changement de bouteille. La cartouche est installée directement sur le système de distribution, typiquement en aval du venturi servant à purger les lignes de distribution. Les gaz de purge passent alors au travers d’un lit d’adsorbant spécifique où ils sont irréversiblement détruits sous forme de solides par chimisorption.

Avantages

  • Elimination au point-de-purge
    - Intégration au point de distribution : Une cartouche / Une armoire à gaz
    - Nombreux avantages par rapport à un système centralisé : coût, risques (mélange accidentel, corrosion du réseau), complexité du réseau, maintenance
  • Disponible pour une grande variété de gaz spéciaux
    - Existe pour une large gamme de gaz spéciaux (voir Table) en version standard 2 litres et 10 litres
    - Adaptable (autres tailles disponibles sur demande)
  • Sécurité
    - Destruction irréversible des gaz garantie en dessous de la VME (valeur moyenne d’exposition)
    - Connections par raccord VCR pour une meilleure étanchéité
    - Vannes d’isolement
    - Cartouche en acier inoxydable de haute qualité (316L)
  • Efficacité
    - Mise en service rapide
    - Repérage de la saturation par Hublot (option)
    - Réutilisable après remplissage d’une charge neuve (Air Liquide propose un service de retraitement et de remplissage)

Bénéfices clés

  • Applicable pour une large gamme de gaz spéciaux pour l’électronique
  • Elimination irréversible garantie jusqu’à la VME
  • Cartouche en acier inox réutilisable avec une charge neuve
  • Témoin de visualisation en fin de vie pour une meilleure efficacité (option )
  • Disponible en version standard 2L ou 10L (autres tailles sur demande)

Gamme

Gas

MEV (ppmv)

2L Purge Detoxal Capacité(Norm L)

10L Purge Detoxal Capacité (Norm L)

Type de cartouche

Cl2

1

35

175

A

HCl

5

140

700

A

BCl3

1

80

400

A

BF3

1

90

450

A

SiH2Cl2

0.5

55

275

A

F2

1

70

350

A

ClF3

0.1

25

125

A

HF

3

100

500

A

WF6

10.3

40

200

A

NH3

25

30

150

B

SiH4

5

20

100

C

AsH3

0.05

25

125

C

B2H6

0.1

40

200

C

PH3

0.3

20

100

C

NO

5

35

175

D

CO

50

30

150

D

TEOS

10

15

75

D

H2S

5

160

800

E

SiH3CH3 (1 MS)

-

7

35

F

Liste non exhaustive (autres gaz sur demande)

Normes

  • CE

Références

  • ST MICROLECTRONICS
  • ATMEL
  • SOXAL
  • ALTIS
  • IMEC
  • AMAT

Electronique & Optoélectronique

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